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日本ata Gimble 多涂機(jī) AT-903涂層示例分析
涂層示例
◆ 萬(wàn)向節(jié)效果
在萬(wàn)向機(jī)操作下,在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
(見(jiàn)下圖,濾紙表面SEM照片)。
放大倍率 x 50,000 倍
云臺(tái)運(yùn)動(dòng)視頻
◆ 與其他公司的顆粒性能比較(樣品:載玻片放大倍數(shù):×100,000)
(其他公司)
(ATA)
◆ 涂膜顆粒度差異示例(AFM 圖像)
膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜
膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜
可以看出,Cr非晶膜和鉑再結(jié)晶膜形成良好。
頭型(可選)
1頭型
2頭型
清潔(可選)
清潔機(jī)制
特征
全向擺動(dòng)(萬(wàn)向運(yùn)動(dòng))載物臺(tái)使涂層具有良好的環(huán)繞性。
*干燥的排氣可防止樣品污染(渦輪分子泵+隔膜泵)
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、W 等。目標(biāo)類型可以是used
特殊的快門(mén)功能可抑制對(duì)樣品的熱損傷。
可以選擇 1 或 2 頭的數(shù)量。
<選項(xiàng)>
等離子清洗(主機(jī)選件)可去除有機(jī)異物并進(jìn)行表面親水化處理,
碳涂層附件(選件)可用于形成碳膜(目前正在建設(shè)中)。