日本tasahi半導(dǎo)體和LCD制造設(shè)備用橡膠參數(shù)介紹

- 對(duì)溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。

? 比 perflo-elastomer 便宜。

-適用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備的濕部件。

氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種：多元醇交聯(lián)（氟橡膠的主流）和過(guò)氧化物交聯(lián)，但各有優(yōu)缺點(diǎn)如下表所示。

由 Asahi Tazaki 開(kāi)發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。