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日本pureron微少流量超小型陶瓷氣體過濾器SPC系列 SPC系列是超小型(Φ21×84mm)、輕量(90g)設計。z適合于安裝在空間狹小的氣瓶柜等裝置的場合。
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列 在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過濾性能的基礎上,實現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同,處理能力達到了原來的約兩倍。
日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列 在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。
日本ace活塞探針型高精度BIOS流量計 DryCal ML系列是活塞探針型高精度流量計,是各種流量計的校準參考設備的理想選擇。不僅可以通過NIST進行追溯,而且還可以在日本獲得認證。
日本ace差壓式大流量控制器DPFC500系列 可以?測量小尺寸和大流量。在湍流中測量壓差,流路直徑小,流路長度短。 對于傳統(tǒng)的熱力類型,湍流是層流的,因此無法在大流量下實現(xiàn)小型化。 EX)500SLM:流路直徑1/2“流路直徑5”